主要技术指标 (Main Technical Parameter) 常规的处理量(normal handing capacity)：0.1-50g 升华区温度(sublimation temp.)：50-800℃ 沉积区温度(deposition temp.)：50-500℃ 炉管尺寸(tube size)： Φ50x1200 mm高纯石英管(high purity quartz tube ) 加热区分布(heating zone)：100+200+100+100+100mm 控温点数量(Temp. Point)：5点独立控温(5points temp. control independently) 控温方式(Temp. Controller)：数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表，采用模糊型PID控制( Adopted PID automatic and double control by digital industrial instrument) 开门式炉体结构上下翻盖液压手动开启(electrical split structure) 极限真空（洁净系统）(Ultimate vacuum lever)5X10-5Pa 分子泵抽气速率(Pumping speed of molecular pump)：100L/S 额定功率(power)：5KW 额定电压(Voltage)：AC 220V Single Phase，50/60 Hz 过滤方式(Filter way)：系统采用三级过滤保护装置，分别采用多级微孔金属滤网、液氮内嵌式冷凝、90度直角台阶式过滤(Three doubles filter protection device are various lever microporous metal mesh ,nitrogen condensation embedded ,90-degree angle terraced filtering。)